产品简介 激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。 产品特色 a.测量精度高、速度快，稳定性好 a. 使用美国高性能激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm) b. 以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 c. 使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s d.配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度 e.分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变 b. 应用范围广 a. 可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测 b.结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析 c.可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析 c 软件界面友好 a，使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。 b，将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。 c，向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。 d 性价比高 性能达到了国外仪器的水准；价格是国内仪器的良心价。 技术参数 系统性能 ² 测量方式：单频 ² 稳频精度：0.05ppm ² 动态采集频率：50 khz ² 预热时间：5-10分钟 ² 工作温度范围：0~40℃ ² 环境温度范围：0~40℃ ² 存储温度范围：-20℃~70℃ 环境补偿示值误差 ² 空气温度传感器：±0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃ ² 材料温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃ ² 空气湿度传感器：±6% (0-95%) ² 大气压力传感器：±1mbar (650-1150mbar) 线性测量 ² 测量距离：0-40m ² 测量精度：0.5ppm (0-40℃) ² 测量分辨率：1nm ² 测量大速度：4m/sec 角度测量 ² 轴向量程：0-15m ² 测量范围：±10° ² 测量精度：±0.6%r±0.5±0.1mμm/m（m为光学镜移动距离，单位：m） ² 测量分辨率：0.1μm/m 直线度测量 ² 轴向量程：0.1-4.0 m ² 测量范围：±2.5 mm ² 测量精度：±0.5% r±0.5±0.15m2μm（m为光学镜移动距离，单位：m） ² 测量分辨率：0.01μm 垂直度测量 ² 测量范围：±3/m mm/m ² 测量精度：±0.5% r±2.5±0.8mμm/m（m为光学镜移动距离，单位：m） ² 测量分辨率：0.01μm/m 平面度测量 ² 轴向量程：0-15 m ² 测量范围：±1.5 mm ² 测量精度：±0.6% r±0.02 m2μm/m（m为光学镜移动距离，单位：m） ² 测量分辨率：0.1μm 回转轴分度精度测量 ² 角度测量范围：0-360° ² 精密转台角度增量：5° ² 精密转台分度精度：±1秒 ² 精密转台重复性：0.2秒 用途 : 检测与校准 ; 近工作距离 : 0.1（mm） ; 测量分辨率 : 0.5ppm ; 测量范围 : 40m ; 品种 : 激光干涉仪 ; 型号 : sj6000 ; 品牌 : 中图 ; 类型 : 激光干涉仪 ; 加工定制 : 否 ;